ダイレクト・トゥ・チップ・コンポーネント・プロジェクトでは、車両全体に低効率フィルターを使用し、半導体製造にとって環境に優しい防御線を構築します。 

I. プロジェクトの背景: マイクロ回路の製造における空気純度に対する厳しい要件

マイクロチップの製造は、環境への要求が最も厳しい業界の 1 つです。空気中の塵や粒子状物質がウェーハの表面に付着すると、短絡やリソグラフィーの欠陥が引き起こされ、使用可能なマイクロ回路の歩留まりに直接影響を与える可能性があります。私たちが協力しているチップファウンドリは、新しい生産ラインの換気システムの濾過レベル、安定性、耐候性に関して非常に高い基準を設定しています。フィルターは超高効率を提供するだけでなく、生産ラインの長期安定稼働を保証するために、低い空気抵抗、長い耐用年数、低発塵などの要件も満たさなければなりません。

ランダムなテストと動作条件を数回繰り返した後、お客様は最終的に当社を選択されました。超高性能フィルター当社の技術チームは、主要な濾過装置として、チップショップの固有の動作条件に合わせてこの製品を特に最適化しました。これにより、濾過効率と動作の安定性が、高い空気流量と高い清浄度要件を備えた生産ラインのニーズを満たすことが保証されます。

II.製品の主な利点: 半導体業界のクリーンルームシナリオ向けに設計
今回導入したサブHEPAフィルターは、ハイテククリーンルームに最適化された専用製品です。その主な利点は次の側面に反映されています。

高効率のろ過:グラスファイバー複合フィルター媒体の使用は、0.3 ミクロンの粒子濾過効率基準を一貫して満たしており、粉塵やエアロゾル汚染物質を効果的に捕捉し、チップ製造プロセスに高純度の空気環境を提供し、満足のいく製品収率を保証します。

低空気抵抗設計:V 字型/ボックス設計の使用により、限られた体積内で濾材の展開面積を最大化することができ、初期の空気抵抗を効果的に低減し、空調ファンの電力消費を削減し、チップ製造工場の高気流換気システムに適応します。

適応性の高い取り付け設計:特殊なシールストリップを備えた ABS/アルミニウム合金の外枠を採用し、設置後にクリーンルーム内のユニットの天井/空洞に完全にフィットし、空気漏れのリスクを排除し、濾過システムの全体的な効率を確保します。